Equipamentos para semicondutores » Wafer Cleaning

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Building Filters

8

Usado process

  • 1994 TEL EXCALIBUR

    1994 TEL EXCALIBUR

    • Fabricante: Tokyo Electron - TEL

    Tamanho do wafer: 8" | Processo: ÚMIDO | Envio: EXW

    Coreia do Sul
  • DNS SS-3000-AR

    DNS SS-3000-AR

    • Fabricante: Dainippon Screen
    • Modelo: SS-3000AR

    Tamanho do wafer: 12" | Processo: Depurador de wafer | Envio: EXW

    Coreia do Sul
  • DNS SS-3000-AR

    DNS SS-3000-AR

    • Fabricante: Dainippon Screen
    • Modelo: SS-3000AR

    Tamanho do wafer: 12" | Processo: SCR | Envio: EXW`

    Coreia do Sul
  • DNS SS-3000-AR

    DNS SS-3000-AR

    • Fabricante: Dainippon Screen
    • Modelo: SS-3000AR

    Tamanho do wafer: 12" | Processo: SCR | Envio: EXW`

    Coreia do Sul
  • DNS SS-3000-AR

    DNS SS-3000-AR

    • Fabricante: Dainippon Screen
    • Modelo: SS-3000AR

    Tamanho do wafer: 12" | Processo: SCR | Envio: EXW`

    Coreia do Sul
  • DNS DNS SS-3000-AR

    DNS DNS SS-3000-AR

    • Fabricante: Dainippon Screen
    • Modelo: SS-3000AR

    Tamanho do wafer: 12" | Processo: Depurador de wafer (4Back) | Envio: EXW

    Coreia do Sul
  • DNS SS-3100

    DNS SS-3100

    • Fabricante: Dainippon Screen
    • Modelo: SS-3100

    Tamanho do wafer: 12" | Processo: 4F/4B | Envio: EXW

    Coreia do Sul
  • 2007 DNS SS-3000-AR

    2007 DNS SS-3000-AR

    • Fabricante: Dainippon Screen
    • Modelo: SS-3000AR

    Tamanho do wafer: 12" | Processo: Depurador de wafer (4Back) | Envio: EXW

    Coreia do Sul

Resumo

Equipamentos de limpeza de wafers removem partículas, resíduos orgânicos, metais e filmes das wafers de semicondutores durante a fabricação. Os sistemas incluem wet benches, processadores single‑wafer, secadores spin/rinse, limpadores megassônicos e plasma. Controlam produtos químicos, temperatura, agitação e a pureza da água DI para atender limites rigorosos de contaminação. Unidades usadas são comuns para expansão de fabs, P&D e terceirização.

PERGUNTAS FREQUENTES

O que devo verificar ao comprar um sistema de limpeza de wafers usado?

Verifique históricos de manutenção e uso de químicos, estado de bombas, vedações, válvulas e circuitos DI, presença de contaminação, versão do software de controle, disponibilidade de peças de reposição e retrofits realizados. Confirme compatibilidade com seus processos.

Como preparar e transportar um limpador de wafers?

Esvazie e neutralize os químicos, enxágue os circuitos DI, fixe componentes frágeis (transdutores, sensores), proteja eletrônicos, faça embalagem com isolamento contra vibração e use transporte com controle climático. Declare materiais perigosos e coordene içamento qualificado.

Qual manutenção de rotina mantém o equipamento confiável?

Monitore a qualidade da água DI, substitua filtros e linhas químicas conforme cronograma, inspecione bombas e vedações, verifique desempenho megassônico/plasma, limpe tanques e wet benches e mantenha software e registros atualizados. Siga os intervalos do fabricante.