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Building Filters

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Usado Wafer Bonders

Resumo

Wafer bonders são equipamentos de alta precisão usados em semicondutores para unir duas wafers por bonding térmico, anódico, adesivo ou híbrido. Eles realizam alinhamento submicrométrico, controle de temperatura, força e vácuo para formar uniões confiáveis em 3D IC stacking, MEMS, sensores e aplicações de imagem. Requerem instalação em sala limpa, receitas de processo rigorosas e calibração regular para manter rendimento e produtividade.

PERGUNTAS FREQUENTES

O que devo verificar ao comprar um wafer bonder usado?

Verifique precisão de alinhamento, condição de aquecedores e chucks, integridade do vácuo, versão do software, registros de manutenção e disponibilidade de peças sobressalentes. Cheque desgaste de fixturas e sensores.

Como confirmar compatibilidade com meus wafers e processo?

Confirme tamanhos suportados (ex.: 200/300 mm), métodos de bonding disponíveis, temperatura e força máximas, tempo de ciclo e se é possível importar/exportar receitas.

Quais são os requisitos de transporte do equipamento?

Use transportadora experiente em equipamentos para semicondutores. Limpe e faça purge do sistema, fixe componentes frágeis, utilize transporte com controle climático se necessário e faça seguro da remessa.

Quais utilidades e preparação do local são necessárias para a instalação?

Necessita sala limpa classificada, energia elétrica estável, água de resfriamento ou chiller, água DI, nitrogênio seco, ar comprimido, exaustão adequada e capacidade de carga do piso. Agende suporte de instalação com OEM.

Que manutenção e calibrações devo planejar?

Agende verificações regulares das bombas de vácuo, vedantes, aquecedores, sensores de alinhamento e estágios de movimento. Substitua O-rings e filtros conforme horas de uso, faça calibrações periódicas e backup de firmware/receitas.