MKS, 1179A51CR1CV-K, controlador de fluxo de massa (MFC)
- Fabricante: MKS
Número de série.: 100008572 | Quantidade: 1 | Detalhes do equipamento: Controlador de fluxo de massa (MFC) | Equipamentos: Controlador de fluxo de massa (MFC) | Descrição: Gás: 10% PH3/AR, faixa: 50SCCM
Suwon, Coreia do Sul