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2017 Brooks, GF125CXXC, MFC (controlador de fluxo de massa)
- Fabricante: Brooks
- Modelo: GF125CXXC
Número de série.: N / D | Quantidade: 52 | Detalhes do equipamento: MFC (controlador de fluxo de massa) | Equipamentos: MFC (controlador de fluxo de massa) | Descrição: Gás: He, taxa de fluxo: 10SLM/10000SCCM
Suwon, Coreia do Sul
2016 Brooks, GF100, controladores de fluxo de massa (MFC)
- Fabricante: Brooks
Número de série.: N / D | Quantidade: 1 | Detalhes do equipamento: Controladores de fluxo de massa (MFC) | Equipamentos: Controladores de fluxo de massa (MFC) | Descrição: Faixa: 3~860/861~7200/7201~30000SCCM
Suwon, Coreia do Sul
2010 BROOKS, PC115X-104545, Controladores de fluxo de massa (MFC)
- Fabricante: Brooks
Número de série.: 01B73804210 | Quantidade: 6 | Detalhes do equipamento: Controladores de fluxo de massa (MFC) | Equipamentos: Controladores de fluxo de massa (MFC) | Descrição: N / D
Suwon, Coreia do Sul