A inspeção de defeitos em metrologia de semicondutores engloba sistemas e processos para detectar, classificar e quantificar defeitos em wafers, máscaras e dispositivos embalados. Ferramentas ópticas, por feixe de elétrons ou baseadas em espalhamento medem tamanho, densidade e localização dos defeitos para melhorar o rendimento e a análise de causa raiz. Os equipamentos devem atender a requisitos de sala limpa, vibração e ESD e costumam integrar imagem avançada e análise de dados.
Verifique o estado dos detectores e das ópticas, especificações de resolução e sensibilidade, tamanhos de wafer compatíveis, versões de software/firmware, histórico de manutenção e calibração, e disponibilidade de peças e suporte.
Use transporte com controle climático e amortecimento de vibração, embalagem personalizada, proteção ESD e registradores de impacto. Coordene desmontagem e remontagem com o fornecedor ou equipe certificada e assegure o frete.
Realize verificações diárias de óptica e limpeza, monitore bombas/vácuo quando aplicável e faça backups regulares de software. Agende calibração anual com OEM ou laboratório qualificado e troque consumíveis conforme o fabricante.