Building Filters
1995 AMAT, P5000, PECVD (2 câmaras)
- Fabricante: Amat
- Modelo: P5000
Número de série.: 4267 | Quantidade: 1 | Detalhes do equipamento: PECVD | Equipamentos: PECVD
Suwon, Coreia do Sul
1997 AMAT, P5000, PECVD (3 câmaras)
- Fabricante: Amat
- Modelo: P5000
Número de série.: 4420 | Quantidade: 1 | Detalhes do equipamento: PECVD (3 câmaras) | Equipamentos: PECVD | Descrição: 3Câmara (gás O2, CF4, SiH4, GeH4, N20, N2)
Suwon, Coreia do Sul